產品資料
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表
產品名稱: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表
產品型號: GPW
產品特點: 日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表該產品是一種皮拉尼真空計，可以測量從大氣壓到5 x 10 -2 Pa的很大范圍。此外，該真空計消除了傳統(tǒng)控制器的操作和顯示，并縮小到小的必要功能，從而實現(xiàn)了“成本降低"和“節(jié)省空間"。
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表 的詳細介紹
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表
GPW系列的特點
- 廣域測量：可以從大氣壓到5×10 -2 Pa進行廣域測量
- 節(jié)省布線：通過集成傳感器和控制器實現(xiàn)節(jié)省布線，節(jié)省空間和節(jié)電。
- 視野更佳：配備了可以檢查異常的LED
- 一鍵式調節(jié)：一鍵式大氣壓調節(jié)和零點調節(jié)
- 可維護性：易于更換測針
- 燈絲材料-鉑（Pt）：燈絲材料使用具有優(yōu)異耐腐蝕性的鉑。
- 測量值輸出信號：壓力為0至10V的對數(shù)輸出是標準設備
- 改善的抗沖擊性：具有出色抗沖擊性的設計結構
- 控制輸出信號：可以輸出2個設定點（GPW-1）
- 串行通訊規(guī)格：可以進行RS-232C / RS-485通訊（僅GPW-2）
- 符合標準：符合CE標準
用
- 用于各種制造設備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導體和電子零件）的低真空區(qū)域中的過程控制
- 用于各種工業(yè)設備（例如熔爐）的低真空區(qū)域中的過程控制
- 用于在具有許多處理腔室的各種制造設備的低真空區(qū)域中進行過程控制，例如在線型和單晶片型
規(guī)范
| 模型 | GPW-1 | GPW-2 | |
|---|---|---|---|
| 可連接的手寫筆 | 一 | ||
| 自適應手寫筆 | SWP-16（NW-16） | ||
| 測量壓力范圍 | 5.0 x 10 -2至1.0 x 10 5 Pa | ||
| 測量精度* | 1×10 -1?1 ××10 4 Pa：±10％ 5.0×10 -2?1.0 ×10 -1 Pa，1×10 4 Pa?1×10 5 Pa：±20％ | ||
| 重復性 | 1×10 -1 Pa?1×10 4 Pa：±2％ | ||
| 采樣時間 | 50毫秒5次移動平均處理 | ||
| 測量值輸出 | 輸出電壓DC 0-10 V | ||
| 壓力指示（對數(shù)輸出）1.7 V至8.0 V，1 V /位 | |||
| 更新時間 | 50毫秒 | ||
| 控制輸入??信號 | 集電極開路輸入，負邏輯 ADJ調整（零點調整，大氣壓調整） | --- | |
| 控制輸出信號 | 集電極開路輸出 負邏輯[額定值：30 VMAX，50 mAMAX，70 mW] 錯誤信號 設定點1、2 | --- | |
| 監(jiān)控設定值 | 設定點1，2：0至10 V日志輸出 | --- | |
| 串行通訊規(guī)格 | --- | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | 電源/錯誤：電源，錯誤指示燈 | ||
| SET-1：設定點1 LED SET-2：設定點2 LED | --- | ||
| 燈絲材料 | 鉑 | ||
| 工作溫度極限 | 10-40℃ | ||
| 工作濕度范圍 | 15-80％（但是，不結露） | ||
| IP防護等級 | IP30（傳感器單元） | ||
| 安裝姿勢 | 沒有限制 | ||
| 電源電壓 | DC 18 V至30 V，2 W（電源打開時為4.8 W） | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15針（M2.6螺釘） | ||
| 大眾 | 150克（含SWP-16） | ||
| 外形尺寸（電源）W xD x H（mm） | 70 x 46 x 28 | ||
| 符合標準 | CE認證 | ||
*大氣壓調整和零點調整后的精度。
外形尺寸
單位：mm
*規(guī)格或建議零售價如有變更，恕不另行通知。
日本shibaura芝浦機電皮拉尼真空計儀表
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