精密加工晶圓檢測(cè)納米表面粗糙度檢測(cè)儀
精密加工晶圓檢測(cè)納米表面粗糙度檢測(cè)儀

納米七的光學(xué)結(jié)構(gòu)以光異質(zhì)干擾為測(cè)量原理，分析并測(cè)量從兩束之間的相位差獲得的電信號(hào)。安裝時(shí)無需使用防振臺(tái)或真空設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)高分辨率0.1nm以下。幾乎沒有消耗品，運(yùn)營成本也很低。納米七的光學(xué)結(jié)構(gòu)以光異質(zhì)干擾為測(cè)量原理，分析并測(cè)量從兩束之間的相位差獲得的電信號(hào)。安裝時(shí)無需使用防振臺(tái)或真空設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)高分辨率0.1nm以下。幾乎沒有消耗品，運(yùn)營成本也很低。納米七的光學(xué)結(jié)構(gòu)以光異質(zhì)干擾為測(cè)量原理，分析并測(cè)量從兩束之間的相位差獲得的電信號(hào)。安裝時(shí)無需使用防振臺(tái)或真空設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)高分辨率0.1nm以下。幾乎沒有消耗品，運(yùn)營成本也很低。納米七的光學(xué)結(jié)構(gòu)以光異質(zhì)干擾為測(cè)量原理，分析并測(cè)量從兩束之間的相位差獲得的電信號(hào)。安裝時(shí)無需使用防振臺(tái)或真空設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)高分辨率0.1nm

• 縮短測(cè)量時(shí)間——Ra數(shù)秒測(cè)量，提高成品率

• 低價(jià)格設(shè)定：維護(hù)保養(yǎng)也很容易，幾乎不需要消耗品。

• 無需防振臺(tái)，無需選擇安裝地點(diǎn)

• 非接觸測(cè)量——利用激光進(jìn)行非接觸測(cè)量

• 広範(fàn)囲計(jì)測(cè)??型試料でも多點(diǎn)?動(dòng)計(jì)測(cè)可能

• 簡(jiǎn)單操作?測(cè)量?保存結(jié)果?レポート出?まで全?動(dòng)

• 高分辨率：采用光外差干涉法實(shí)現(xiàn)的0.1nm分辨率

以下。幾乎沒有消耗品，運(yùn)營成本也很低。