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產品資料
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數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵

產品名稱: 數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵
產品型號: UTM-1400FW
產品特點: 數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵
日本 ULVAC 愛發科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數字磁懸浮型復合渦輪分子泵,主打“大流量+寬量程“排氣,定位在中-高負荷工藝(干法刻蝕、CVD、磁控濺射等)主抽或對輕-重混合氣體做高抽速排氣。
額定抽速(N?):1490 L/s(VG250 法蘭,

數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵 的詳細介紹

數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵

數字磁懸浮高抽速排氣大流量復合渦輪分子泵

日本 ULVAC 愛發科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數字磁懸浮型復合渦輪分子泵,主打"大流量+寬量程"排氣,定位在中-高負荷工藝(干法刻蝕、CVD、磁控濺射等)主抽或對輕-重混合氣體做高抽速排氣。綜合各道 2025 年仍在發布的規格表,可歸納如下核心信息:

一、主要性能參數

  • 額定抽速(N?):1490 L/s(VG250 法蘭,無保護網)
  • 極限壓力:<10?? Pa(配推薦前級泵,23 ℃空載)
  • 最大允許前級背壓:約 80 Pa(FW 系列設計背壓高于傳統機型,可配更小前級泵)
  • 壓縮比:N?>1×101?,H?≈ 2×10?
  • 可變速范圍:25 % – 100 %(數字控制,自動跟蹤負載)
  • 冷卻方式:水冷(內置水道,水流量 2 L/min,25 ℃)
  • 允許全方向安裝,不受磁懸浮軸承角度限制

二、結構與技術特點

  1. 五軸主動磁浮軸承
    • 轉子 100 % 無接觸、無油、無脂,理論上免維護 10 萬小時
    • 自帶斷電再生發電(Back-EMF)功能,停電時利用轉子動能供電,維持懸浮至安全停機,無需更換電池
  2. 復合級段設計
    • 上部多段軸流渦輪+下部 Holweck/螺紋牽引級,兼顧高壓縮比與大通量
    • 內表面可選 Ni-P+DLC、陽極氧化或特殊陶瓷涂層,提高抗鹵素/含氟工藝腐蝕能力(訂貨代碼 -HC)
  3. 數字控制 & 診斷
    • RS-485/UL-NET 接口,可遠程讀取轉速、電流、振動、溫度等 10 余項實時數據
日本 ULVAC 愛發科 UTM-1400FW 屬于「UTM-FW 系列」數字磁懸浮型復合渦輪分子泵,主打"大流量+寬量程"排氣,定位在中-高負荷工藝(干法刻蝕、CVD、磁控濺射等)主抽或對輕-重混合氣體做高抽速排氣。綜合各渠道 2025 年仍在發布的規格表,可歸納如下核心信息:

一、主要性能參數

  • 額定抽速(N?):1490 L/s(VG250 法蘭,無保護網)
  • 極限壓力:<10?? Pa(配推薦前級泵,23 ℃空載)
  • 最大允許前級背壓:約 80 Pa(FW 系列設計背壓高于傳統機型,可配更小前級泵)
  • 壓縮比:N?>1×101?,H?≈ 2×10?
  • 可變速范圍:25 % – 100 %(數字控制,自動跟蹤負載)
  • 冷卻方式:水冷(內置水道,水流量 2 L/min,25 ℃)
  • 允許全方向安裝,不受磁懸浮軸承角度限制

二、結構與技術特點

  1. 五軸主動磁浮軸承
    • 轉子 100 % 無接觸、無油、無脂,理論上免維護 10 萬小時
    • 自帶斷電再生發電(Back-EMF)功能,停電時利用轉子動能供電,維持懸浮至安全停機,無需更換電池
  2. 復合級段設計
    • 上部多段軸流渦輪+下部 Holweck/螺紋牽引級,兼顧高壓縮比與大通量
    • 內表面可選 Ni-P+DLC、陽極氧化或特殊陶瓷涂層,提高抗鹵素/含氟工藝腐蝕能力(訂貨代碼 -HC)
  3. 數字控制 & 診斷
    • RS-485/UL-NET 接口,可遠程讀取轉速、電流、振動、溫度等 10 余項實時數據


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