產(chǎn)品資料
半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計
產(chǎn)品名稱: 半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計
產(chǎn)品型號: CO.65/xxxPI V2.0
產(chǎn)品特點: 半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計半導體行業(yè)超聲波流量計 CO.65/xxxPI V2.0夾緊型 · 管用 · 半導體級 · 超聲波 · 0.65-65 L/min±0.5 %RDG · 真空 ≤ 1×10?? Pa · 重量 0.28 kg · 5 年壽命
半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計 的詳細介紹
半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計
半導體領域用標準夾緊型超聲波流量計
一、產(chǎn)品定位
- 半導體行業(yè)：單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學品
- 夾緊型管用：無需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
- 超聲波原理：無移動部件，無顆粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa
一、產(chǎn)品定位
- 半導體行業(yè)：單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學品
- 夾緊型管用：無需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
- 超聲波原理：無移動部件，無顆粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa
一、產(chǎn)品定位
- 半導體行業(yè)：單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學品
- 夾緊型管用：無需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
- 超聲波原理：無移動部件，無顆粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa
一、產(chǎn)品定位
- 半導體行業(yè)：單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學品
- 夾緊型管用：無需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
- 超聲波原理：無移動部件，無顆粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa
一、產(chǎn)品定位
- 半導體行業(yè)：單片清洗、CMP、濕法刻蝕、超純水、化學品
- 夾緊型管用：無需切斷管道，夾緊安裝，真空/大氣雙模式
- 超聲波原理：無移動部件，無顆粒生成，Class 100 兼容
- CO.65/xxxPI V2.0：0.65-65 L/min，±0.5 %RDG，真空 ≤ 1×10?? Pa
二、核心技術參數(shù)（CO.65/xxxPI V2.0）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 超聲波（時差法） |
| 流量范圍 | 0.65 – 65 L/min（全范圍） |
| 精度 | ±0.5 %RDG（0.65-65 L/min） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內(nèi)置泵） |
| 響應時間 | < 0.1 s（超聲波） |
| 潔凈等級 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 接口 | 夾緊型 Φ6-25 mm（可轉(zhuǎn) 1/4-28） |
| 電源 | DC 12 V 1 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×35 mm，0.28 kg |
二、核心技術參數(shù)（CO.65/xxxPI V2.0）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 原理 | 超聲波（時差法） |
| 流量范圍 | 0.65 – 65 L/min（全范圍） |
| 精度 | ±0.5 %RDG（0.65-65 L/min） |
| 真空度 | ≤ 1×10?? Pa（真空版） |
| 大氣版 | 可選（內(nèi)置泵） |
| 響應時間 | < 0.1 s（超聲波） |
| 潔凈等級 | Class 100（0.3 µm ≤ 100 pc/ft3） |
| 接口 | 夾緊型 Φ6-25 mm（可轉(zhuǎn) 1/4-28） |
| 電源 | DC 12 V 1 A（含 100-240 V 適配器） |
| 尺寸/重量 | 148×80×35 mm，0.28 kg |
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