產(chǎn)品資料
半導體分析應用單級高壓微型減壓閥
產(chǎn)品名稱: 半導體分析應用單級高壓微型減壓閥
產(chǎn)品型號: GHSN-3
產(chǎn)品特點: 半導體分析應用單級高壓微型減壓閥日本千代田（Chiyoda Technol）GHSN-3 系列是一款「1 段減壓、高壓輸入」小型壓力調整器，專為高壓氣瓶（30 MPa 級）直接減壓至 0.1～1.6 MPa 左右的管路而設計，結構緊湊、重量輕，適用于半導體、實驗室、分析機臺、激光氣體等高純/高壓場合。基本規(guī)格最高輸入壓力：30 MPa（≈4 350 psi）輸出調整范圍：0.05～0.35
半導體分析應用單級高壓微型減壓閥 的詳細介紹
半導體分析應用單級高壓微型減壓閥
半導體分析應用單級高壓微型減壓閥
日本千代田（Chiyoda Technol）GHSN-3 系列是一款「1 段減壓、高壓輸入」小型壓力調整器，專為高壓氣瓶（30 MPa 級）直接減壓至 0.1～1.6 MPa 左右的管路而設計，結構緊湊、重量輕，適用于半導體、實驗室、分析機臺、激光氣體等高純/高壓場合。
- 基本規(guī)格
- 最高輸入壓力：30 MPa（≈4 350 psi）
- 輸出調整范圍：0.05～0.35 / 0.1～0.7 / 0.2～1.6 MPa 三檔彈簧可選
- 流量系數(shù) Cv：0.08（GHSN-3）
- 閥體材質：SUS316L 全金屬，電解拋光 Ra ≤ 0.25 µm
- 密封材質：PCTFE（閥針）、Viton/EPDM（O-ring）可選
- 連接口徑：入口 1/4" VCR 內(nèi)螺紋（面密封）
出口 1/4" VCR 或 Rc1/4 內(nèi)螺紋 - 重量：約 0.7 kg
- 使用溫度：-20 ℃～+70 ℃（環(huán)境）
- 結構特點
- 單級減壓 + 平衡閥芯 → 30 MPa 一次降到位，出口波動 ≤ ±0.01 MPa
- 內(nèi)部容積 1.8 mL，死區(qū)小，吹掃置換快
- 閥針帶 10 µm 級過濾器，防止高壓顆粒劃傷密封面
- 手輪為防脫落結構，帶鎖緊螺母，振動環(huán)境不漂移
- 可選自泄壓（Relief）型 GHSN-3R，當出口超壓 15 % 自動泄放
- 可選面板安裝螺母，厚度 1.5–10 mm 通用
- 流量特性（氮氣例）
入口 30 MPa / 出口 0.7 MPa 時，最大流量約 8 Nm3/h；
入口 15 MPa / 出口 0.2 MPa 時，約 4 Nm3/h（足夠滿足單臺分析機臺或激光混合箱消耗） - 選型后綴
GHSN-3-A-35-VR
│ │ │ │ └── VCR 接口
│ │ │ └---- 0.05-0.35 MPa 彈簧
│ │ └------ R = 帶泄壓，無記號 = 標準型
│ └-------- A = Viton O-ring，E = EPDM
└----------- 3 = 基本型號 - 應用示例
- 半導體刻蝕 MIX 箱：高壓 Ar/CF? 瓶 → GHSN-3 → 0.3 MPa 進質量流量控制器
- 實驗室 GC 載氣：He 瓶 20 MPa → 減壓 0.6 MPa 供色譜儀
- 激光氣體：高壓 CO? 混合氣一次減壓到 0.8 MPa，再進二級微調閥
- 電廠儀表：高壓 N? 瓶吹掃，一次減壓 1 MPa 供母管
- 安裝與使用注意
- 入口必須配高壓截止閥與過濾器（40 µm）
- 建議垂直安裝（手輪向上），可減少閥芯自重引起的零漂
- 氣：微開入口閥，0.5 MPa 預吹 10 s，再緩慢升至工作壓力
- 長期不用：關閉瓶閥，打開出口泄放，旋鈕逆時針回零，保持彈簧松弛
- 維護與壽命
- 密封壽命：在 30 MPa/常溫/N? 條件下，開關 10 000 次泄漏率 ≤ 1×10?? Pa·m3/s
- 大修周期：3 年或 20 000 次，更換閥針與 O-ring，原廠提供高壓清潔與再校準服務
一句話總結
GHSN-3 是千代田的「30 MPa → 0.1-1.6 MPa」單級高壓微型減壓閥，全 316L + VCR 面密封 + 小死區(qū)，專為 半導體/分析/激光 等高純高壓氣體一次減壓設計，體積小、零漂移、易面板安裝，是高壓氣瓶柜里「最后一厘米」的可靠選擇。
GHSN-3 是千代田的「30 MPa → 0.1-1.6 MPa」單級高壓微型減壓閥，全 316L + VCR 面密封 + 小死區(qū)，專為 半導體/分析/激光 等高純高壓氣體一次減壓設計，體積小、零漂移、易面板安裝，是高壓氣瓶柜里「最后一厘米」的可靠選擇。
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